催化氧化是典型的气-固相催化反应，其实质是活性氧参与的深度氧化作用。在催化氧化过程中，催化剂的作用是降低活化能，同时催化剂表面具有吸附作用，使反应物分子富集于表面提高了反应速率，加快了反应的进行。借助催化剂可使有机废气在较低的起燃温度条件下，发生无焰燃烧，并氧化分解为CO2和H2O，同时放出大量热能。

根据待处理废气热值的不同可以选择补充能量（电加热、天然气加热）辅助系统运行或热量富裕时增设余热锅炉用于副产饱和蒸汽或过热蒸汽。